高压电离室 环境γ辐射剂量率测量专用设备
核级与化工真空机组 耐腐防爆环保型液环真空机组 耐腐蚀防爆产品环境γ辐射剂量率测量专用设备；量率量程跨九个数量级（1......
Surpass系列 干法刻蚀机，特别适合于大口径、高均匀性和有特殊微纳结构的基片刻蚀，刻蚀尺寸可达φ2500mm，通过高密度等离子体及离子浓度修正系统，可达到基片有效刻蚀区域内均匀性较高的技术指标，满足大口径基片刻蚀的需求。
致力于电真空、核级装备、人工晶体材料及薄膜制备设备的技术提升，在服务领域深耕细作，具有较深的技术沉积。
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