urpass复合磁控溅射镀膜机 离子轰击系统
●设备主要由真空腔体、真空系统、工件盘系统、烘烤系统、溅射系统、过渡仓、磁力机械手、离子轰击系统、充气系统和在线测量......
●形式：箱式一体机，立式前开门，蒸发室和抽气室为整体焊接式，沉积腔采用SUS304真空氩弧焊成型不，一体机系统，可连接单排双工位手套箱，中间用DN150超高真空插板阀隔断。
●真空系统：极限真空5X10-4Pa，主泵为复合分子泵，抽速600L/S,前级泵配置直联泵，主阀匹配。
●真空测量：配数字复合真空计，均采用防爆金属测量规。
●工件架系统：客户需求定制，可放入4英寸掩模版，转速3～30rpm变频可调。
●烘烤系统：匹配数字功率控制器和PID控制模块，*高烘烤温度300℃。
●电阻蒸发源：水冷电极引入，2套电阻蒸发源，蒸发功率5KW，配置8KWE型电子枪1套，膜厚测试系统。匹配石英膜厚仪，可与挡板联动。
●控制系统：成熟可靠的真空镀膜控制系统，工业级10英寸触摸屏和西门子PLC，能够实现抽真空、工转烘烤、自动冷却放气等镀膜生产流程；支持半自动和手动等镀膜操作方式。水、电、气路有故障自动报警和保护系统，采用声光报警。
●辅助系统：配置冷水机1台，空压机1台。
●说明：本系统含单排双工位手套箱1台，单边4个手套，有效长度1.8米。